Drittmittelprojekt: EMA3D

Verbundprojekt von ISAS, HZB und SENTECH

gefördert durch Pro FIT Nr. 10160255(ISAS), 10160256 (Sentech), 10160265(HZB) – EFRE

Für das Design, die Prozesskontrolle und die Erschließung neuer technologischer Potentiale von Oberflächen und Filmen für optische und biotechnologische Anwendungen werden geeignete zerstörungsfreie Charakterisierungsmethoden und Messapparaturen benötigt. In diesem gemeinsamen Projekt des Leibniz-Instituts für Analytische Wissenschaften - ISAS - e.V. mit der SENTECH Instruments GmbH und dem Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB) soll eine ellipsometrische Methode zur Analyse von Oberflächen für optische und biotechnische Anwendungen (Biosensoren und Biotemplates) erforscht und weiterentwickelt werden. Im Verbundprojekt werden die Kompetenzen der drei Partner aus Berlin zusammengeführt.

Forschungsziele:

  • SENTECH Instruments GmbH: Reflektometrie, spektroskopische Ellipsometrie, Plasmaätzen und Depositionssysteme, sowie Metrologie an Solarzellen
  • HZB: Prozess- und Struktur-Entwicklung für neuartige Solarzellen und Biotemplates, Rasterelektronenmikroskopie, Fluoreszenz-, Raman- und Photolumineszenzspektroskopie, Elektrochemie
  • ISAS: IR-UV Spektroskopie/Ellipsometrie, Strukturanalyse, methodische Entwicklungen im Bereich der IR-Spektroskopie und Modellierung optischer Eigenschaften neuartiger Materialien und Oberflächen